Engine pressionem sensorem 2CP3-68 1946725 pro Carter cavato

Methodus sensorem pressionis conficiendi, charactere insignitur vestigia sequentia complectens:

S1, praebens laganum cum superficie dorsi et superficies antica; Piezoresistivam detractam formans et aream contactum graviter macerans in superficie lagani anterioris; Formando pressionem altam cavitatis a escendo superficiem lagani dorsi;

S2, laganum tegumentum fulcrum in dorso;

S3, fabricandis foraminibus plumbeis et filis metallicis in parte anteriori lagani, et ligaturae piezoresistivae connectens pontem coteti formant;

S4, deponendo et formando iacum passivationis in superficie lagani anterioris, et partem aperiens iacum passivationis ad faciendum metalli codex aream. 2. Methodus fabricandi pressionis sensorem secundum affirmationem 1, in qua S1 specialiter comprehendit sequentes gradus: S11: laganum cum superficie dorsi et superficiei anterioris praebens et crassitudinem pressionis sensitivae pelliculae in lagano definiens; S12: implantatio adhibetur in superficie lagani anterius, piezoresistivae bracteae per diffusionem caliditatis processum fabricantur, et regiones contactus graviter eliduntur; S13: deponendo et formando stratum laganum in tutela anteriori; S14: etching et pressione profunda cavitatis in dorso lagana formans pressionem sensitiva pellicula. 3. Faciendi methodus pressionis sensorem secundum affirmationem 1, in qua laganum est SOI.

In 1962, Tufte et al. piezoresistivam pressionem sensorem piezoresistivum cum pittaciis siliconibus diffusis et cinematographicis siliconibus primum fabricavit, et investigationem de pressione sensorem piezoresistivam incepit. Nuper annis 1960 et primis annis 1970, species trium technologiarum, scilicet technologiae anisotropicae siliconicae, technologiae implantationis et anodicae compages technologiae, magnas mutationes pressionis sensoris intulit, quae munus magni ponderis egit in meliore pressionis sensoris adimpletione. . Cum 1980s, cum ulteriori progressu technologiae micromachiningis, sicut anisotropicae etching, lithographiae, diffusionis dopingis, implantationis, compagis et tunicae, magnitudo pressionis sensoris continue redacta est, sensus emendatus est et output altum et altum est. praestantia praestantia. Eodem tempore evolutio et applicatio novarum technologiarum micromachining cinematographicarum crassitudinem pressionis sensoris accurate moderantur.